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  • 叉指電極的技術參數

     

    項目 參數 單位
    線寬 >70 μm
    線距 >70 μm
    金屬層厚度 >1 μm
    耐溫測試 -50~150 ℃
    金屬層 鎳，銅，金，鎳-磷，金錫合金
    基體

    氧化鋁，氮化鋁，玻璃，硅片，壓電陶瓷，微波介電陶瓷，塑料薄膜。
    注：具體陶瓷性能和型號的選擇可以參考本頁描述。

  • 納米多孔金層

    在導體和絕緣體表面上獲得納米多孔金層，可作為電化學傳感器，生物傳感器和高敏感電極材料。加工方法是在導電化處理后的表面電鍍金錫的合金，再通過化學蝕刻的方式去除掉錫元素，從而獲得納米級多孔的金層。本公司提供多孔金的加工服務和金錫合金鍍液服務。獲得的多孔金的外觀照片效果如下：

     

    　　　

     圖1.（a）上部分是電鍍金錫合金處理，(b)在35%硝酸中除去錫獲得的多孔金，(c)在5M氫氧化鈉和1M雙氧水中去錫獲得的多孔金. 

    　　

                      圖2.多孔金顯微SEM和EDX能譜       圖3. 金錫合金和納米多孔金的XRD譜圖         圖4.泡沫鎳表面加上的多孔金電極SEM及XRD譜圖. 

  • 高透明陶瓷

    藍寶石襯底和石英玻璃的力學、電學性能

    項目 參數 單位 備注
    主要成分 氧化鋁（Al2O3）   藍寶石襯底
    莫氏硬度 9（僅次于鉆石：10）    
    熱導率 25.12 W/m·k 100℃
    介電常數 11.5（//c）,9.3(⊥c)    
    折射率 no=1.768 ne=1.760 μm  
    透光特性 T≈80%（0.3-5μm） μm  
           
    石英玻璃純度 99.9%    
    莫氏硬度 7（僅次于鉆石：10）    
    熱導率 ＞18.45 kV/mm  
    體積電阻率 1x1019  Ω·cm  20℃
    介電常數 11.5（//c）,9.3(⊥c)   1Mhz
    折射率 1.544 μm  
    熱電常數 1200μV/℃   300℃
    透光特性 T≈80%（0.3-5μm）    

     

  • 高絕緣陶瓷基板

    氧化鋁和氮化鋁的力學、電學性能

    項目 參數 單位 備注
    主要成分 氧化鋁（Al2O3）    
    擊穿電壓 ＞20.0 kV/mm  
    介電常數 9.8   1Mhz
    介電損耗 3.0 10-4 1Mhz
    粗糙度Ra ＜0.5 μm  
    厚度偏差 ±20.0 μm  
    剝離強度 ＞5.0 N/mm  
           
    主要成分 氮化鋁（AlN）    
    抗折強度 MPa    
    擊穿電壓 ＞18.45 kV/mm  
    體積電阻率 ＞1x1014 Ω·cm 25℃
    介電強度 8.56   1Mhz
    粗糙度Ra 0.3-0.5 μm  
    剝離強度 ＞4.0 N/mm  

  • 工藝加工參數

    項目

    參數

    單位

    最小線寬線距

    70*70

    μm

    金屬厚度

    <10

    μm

    導電層

    銅

    鎳

    金

  • 高介電性陶瓷

    材料編碼
    介電常數
    品質因數
    (Ghz)
    頻率溫度系數(ppm/℃)
    比重
    （g/m3）
    CBS-4
    3.8±0.2
    ≥20，000
    —
    2.2
    ZST-7
    6.8±0.2
    ≥70，000
    -40±5
    4.1
    ZST-10
    10.0±0.2
    ≥65，000
    0±5
    4.2
    MST-12
    12.0±0.3
    ≥150，000
    -50±5
    3.6
    MTC-13
    12.8±0.2
    ≥60，000
    0±5
    —
    MST-16
    16.0±0.3
    ≥60，000
    0±4
    3.9
    BCT-12
    21.0±0.3
    ≥60，000
    0±3
    3.8
    BMT-24
    24.0±0.3
    ≥200，000
    0±2
    7.5
    MLT-26
    26.0±0.3
    ≥60，000
    0±3
    4.0
    BZN-32
    32.0±0.3
    ≥70，000
    2±3
    5.8
    BZT-35
    35.0±0.5
    ≥50，000
    1±3
    4.6
    BZT-36
    36.0±0.5
    ≥50，000
    2±3
    4.6
    ZST-38
    39.0±0.5
    ≥55，000
    0±2
    5.0
    ZNT-45
    45.0±0.5
    ≥40，000
    0±2
    4.8
    ZNT-50
    50.0±0.7
    ≥30，000
    20±5
    4.9
    BST-78
    78.0±1.0
    ≥10，000
    ﹣5±5
    5.6
    BSNT-85
    85.0±1.0
    ≥8，000
    0±10
    5.6

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